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扫描探针显微镜(SPM),又称原子力显微镜(AFM),是利用细微的探针,在样品表面扫描,进行高放大倍率观察三维形貌的显微镜。SPM-9600是以快速观察,操作简单而拥有优良声誉的新一代SPM。
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主要技术规格
测定模式 | 标准:接触、动态、相位 |
选配模式:力调制模式、电流模式、磁力(MFM)模式、表面电位模式(KFM)、水平力模式(LFM) | |
分辨率 | 水平0.2nm 垂直0.01nm |
最大扫描范围(X/Y/Z) | 30μm×30μm×5μm(标准) |
125μm×125μm×7μm(选配) | |
55μm×55μm×13μm(选配) | |
最大样品形状 | |
样品装载方式 | 头部滑动机构 |
分束器滑动机构 | 内置在AFM头内 |
■ 设置室的环境
设置室理想的空调条件如下。
温度 23°±5℃
湿度 60%以下
■ 电源
运行本装置需要如下电源。
单相 100V-120V 50/60Hz 10A 1路
接地 第3种地线
■ 装置的尺寸和重量
SPM单元 W180×D255×H260mm 5.5kg
控制单元 W250×D420×H454mm 18.5kg